F=125mm大幅面遠(yuǎn)心f-theta鏡頭

發(fā)表時(shí)間:2020-05-13 13:40

光束聚焦在技術(shù)光學(xué)的許多領(lǐng)域發(fā)揮著重要的作用。

具有合適焦距的單個(gè)鏡頭是最簡(jiǎn)單的解決方案。對(duì)于均勻加工表面,單個(gè)透鏡是不夠的,因?yàn)閺澢膱D像平面需要重新定位焦點(diǎn)。為了避開(kāi)復(fù)雜的運(yùn)動(dòng),所謂的f-theta鏡頭被設(shè)計(jì)成補(bǔ)償這種位置偏移并提供平坦的圖像區(qū)域。

另外,它們?cè)谡麄€(gè)掃描平面上具有一致的光斑尺寸。遠(yuǎn)心是在工作平面上提供垂直入射的選項(xiàng)。此外,期望能夠?qū)崿F(xiàn)大的掃描區(qū)域,因?yàn)樗鼈冊(cè)试S在不移動(dòng)光學(xué)單元或目標(biāo)的情況下處理較大的工件。

幾個(gè)月前,我們?cè)赟ill Optics 3/2017電子報(bào)中報(bào)道了S4LFT4010系列。從UV到IR的不同波長(zhǎng)范圍的這組f-theta透鏡提供相對(duì)較小的光斑尺寸以提高通量。 S4LFT4125 / 075是紫外激光的增強(qiáng)版本,同樣由熔融石英組成。掃描區(qū)域從35 mm x 35 mm改善到50 mm x 50 mm。盡管焦距較高,但在整個(gè)掃描區(qū)域內(nèi)可以達(dá)到8μm(1 /e2)的聚焦光斑,輸入光束直徑為10 mm。

類似于S4LFT4010系列,新鏡頭(S4LFT4125 / 075)對(duì)指定輸入光束直徑的衍射極限。此外,沒(méi)有內(nèi)部和外部的鬼影,因此在振鏡附近沒(méi)有背反射。除了大幅面,鏡頭與短脈沖激光器兼容。 Sill Optics公司也期待將這種鏡頭適應(yīng)您的需求,即適應(yīng)其他波長(zhǎng)。


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