Spectral reflectometer

產(chǎn)品介紹：

薄膜厚度測(cè)量和反射計(jì)系統(tǒng)SR100通過(guò)測(cè)量反射光譜,結(jié)合tfprobe軟件建模能力可獲得薄膜性質(zhì)。TFProbe系列光譜反射工具具有許多特點(diǎn)，如長(zhǎng)工作距離、工作距離可調(diào)、大平臺(tái)尺寸、可選擇的光源和可調(diào)光源強(qiáng)度等。簡(jiǎn)單的附加功能也可選，如傳輸、曲面測(cè)量適配器、多通道、大或小光束設(shè)置等等

產(chǎn)品參數(shù)：

主要應(yīng)用：

太陽(yáng)能電池中的薄膜

光刻膠，聚酰亞胺，氧化物，氮化物

光學(xué)涂層，TiO2，SiO2，Ta2O5 ...

半導(dǎo)體化合物，電池間隙

MEMS / MOEMS中的功能性薄膜

薄膜晶體管（TFT）堆疊

導(dǎo)電氧化物：氧化銦錫

在醫(yī)療器械上涂層